為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的顆粒過濾效果，是高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接面積消除了排氣
全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動壓應(yīng)用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提供終極的設(shè)計效率并最大限度地降低工程成本
?
材料?? ?濾芯?? ?燒結(jié)鎳膜過濾器
??? ?住房?? ?電解拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/ft 3 ) >0.01 μm?? ?
??? ?揮發(fā)物?? ?H 2 O、O 2和 THC 的揮發(fā)性脫氣低于可檢測限值（在室溫下通過 RGA 和 FID）
去除等級?? ?≥0.0015微米
表面處理內(nèi)部?? ?≤5μin Ra
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2 × 10 -10 atm-cc/秒。
??? ?已測試?? ?1 × 10 -9 atm-cc/秒。
最大操作條件：?? ?最大入口壓力?? ?20°C (68°F) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
??? ?設(shè)計壓力?? ?20°C (68°F) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
??? ?最大正向/反向壓差?? ?1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸）
??? ?最高工作溫度?? ?惰性氣體?? ?400°C (725°F) @ 35 巴 (500 psi)
??? ? ?? ?腐蝕性和反應(yīng)性氣體?? ?50°C (122°F) @ 70 巴 (1000 psi)
保修單?? ?5年
顆粒保留?? ?15 slpm 時所有顆粒的去除率超過 99.9999999% (9 LRV)
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)