為超純氣體系統過濾提供卓越的顆粒過濾。
全金屬結構提供最清潔、最高效的全金屬過濾器
獲得專利的鎳過濾膜具有卓越的耐腐蝕性和優異的化學兼容性
創新的外殼設計有助于消除排氣并縮短干燥時間
高溫和動態壓力應用的理想選擇
通常用于流量高達 30 slpm
?
材料?? ?過濾膜?? ?獲得專利的燒結鎳
住房?? ?電解拋光 F20 不銹鋼
下游清潔度?? ?粒子*?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/ft 3 ) >0.01 μm
揮發物**?? ?H 2 O、O 2和 THC 的揮發性脫氣低于可檢測限值（在室溫下通過 RGA 和 FID）
去除等級?? ?≥0.0015微米?? ?
內部表面處理?? ?≤5μin Ra?? ?
氦氣泄漏率?? ?合格的?? ?2x10 -10 ?atm cc/秒
已測試?? ?1x10 -9 ?atm cc/秒
最大操作條件?? ?最大入口壓力：?? ?70 巴 (1000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向壓差：?? ?10 巴（150 磅/平方英寸）
最高工作溫度?? ?惰性氣體?? ?35 巴 (500 psi) 時為 400°C (752°F)
腐蝕性和反應性氣體?? ?70 巴 (1000 psi) 時為 50°C (122°F)
保修單?? ?5年?? ?
顆粒保留?? ?在 30 slpm 下，所有顆粒去除率超過 99.9999999% (9 LRV)
在 75 slpm 下，所有顆粒去除率超過 99.9999%（以最具穿透力的顆粒尺寸為準）
流量?? ?參見流量曲線?? ?