美國Entegris 應(yīng)特格 WG2FT1RR2 過濾器現(xiàn)貨
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這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和柜中。?
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了較低蒸氣壓氣體的冷凝風(fēng)險
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
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應(yīng)用領(lǐng)域
Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
煤氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部處理工具
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材料
??? ?濾芯
??? ?由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房?? ?電解拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 ?? ?小于 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大于 0.01 μm?
揮發(fā)物?? ?<10 ppb 水分
去除等級?? ?≥0.0015微米?? ?
內(nèi)部表面處理?? ?≤7 μin Ra?? ?
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2×10 -10立方厘米/秒
已測試?? ?1×10 -9立方厘米/秒
運(yùn)行條件?? ?最大入口壓力?? ?207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向壓差?? ?4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
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最大反向壓差?? ?0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
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最高工作溫度?? ?120°C (248°F)
顆粒保留
??? ?在 30 slpm 下去除所有顆粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒尺寸為準(zhǔn)）
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)